なオゾンの使用例

主なオゾン使用例の一覧です。

下記以外にも多数実績がございます。
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ジスト除去

洗浄方法:オゾンガス+温硫酸

レジスト除去 洗浄方法:オゾンガス+温硫酸

洗浄方法:オゾンガス+UV

レジスト除去 洗浄方法:オゾンガス+UV

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